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個人檔案

研究專長

半導體元件物理、深次微米前段元件製程、奈米元件製作、薄膜電晶體、超薄絕緣層製備、半導體晶圓潔淨技術

經歷

1992/7-2001/8 國科會國家毫微米元件實驗室副研究員、研究員 

1997-2001 國立清華大學工程與系統科學學系兼任副、合聘教授 

2001/8-2002/1 國立交通大學電子物理副教授 

2002/-2004 國家奈米元件實驗室副主任 

2002/2- 迄今 國立交通大學電子物理教授 

2009-2011 國立交通大學電子物理系主任 

教育/學術資格

PhD, 國立交通大學

外部位置

指紋

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