新世代積體電路製程技術

Huang-Chung Cheng, 劉 傳璽

Research output: Book/ReportBookpeer-review

Abstract

積體電路 (IC) 是我國的高科技明星產業,台灣近二十年來在積體電路製造技術上的成就,全世界有目共睹,可與世界先進技術並駕齊驅。就產能方面,台灣擁有全世界最密集的 IC 製造工廠,每年均需要大量的人才投入,因此不僅是電機、電子背景的人才,背景為物理、材料、化工、機電…等人才亦為 IC 廠積極網羅的對象。為因應大量的人才需求量與縮短摸索學習的時間,在 1997 年,由張俊彥教授主編、經濟部技術處發行的「積體電路製程及設備技術手冊」,匯集了當時國內半導體學術界與產業界的菁英,專門為了適合國人閱讀而寫的嘔心瀝血之作。

  如今製造積體電路的元件特徵尺寸,已由早期的次微米尺寸進入到奈米範圍,許多新的製程技術與應用也與以往有所不同,因此邀集國內業界與學界的專家編撰此書,以期讓有心投入 IC 產業的後進能夠以最有效率的方式,一窺先進積體電路製程技術的全貌。特此向不計辛勞的各章作者致謝。
Original languageChinese (Traditional)
Publisher東華圖書出版有限公司
Number of pages488
ISBN (Print)9789574836710
StatePublished - Sep 2011

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