Field Emission Scanning Electron Microscope

重要規格：（1）電子槍 冷陰極型式（2）解析度 1.0 nm (15KV) 2.2 nm (1KV)（3）電子槍真空度 10-8 Pa以下（4）倍率 25至650,000倍（5）加速電壓 0.5 to 30 KV（6）探針電流 10-13 to 2×10-9 A（7）試片大小限制 直徑Φ25 mm × 高度10 mm（8）試片載台 中心式試片台、X-Y移動範圍:70 mm x 50 mm、旋轉範圍:360°、工作距離:1.5 mm to 25 mm、傾斜角度:-5° to +60°

服務項目：試片微觀結構觀察(SEM)、表面能階分析(EDS)