Dielectric Material RIE-400iP

功能：
乾式蝕刻，蝕刻碳化矽(SiC)材料，4" wafer為主。

重要規格：
本蝕刻系統可通入C4F8、O2、SF6、CHF3等氣體蝕刻碳化矽(SiC)等材料。